半導体製造工程で、部材を切って個片化(ダイシング)する際に使用される粘着milan米兰体育官网です。

UV硬化による粘着力コントロール技術と多様な製品ラインナップから、あらゆる『切る』に適した製品をご提案します。

特長

シリーズ 被着体 特長 候補品番
UCシリーズ(UVタイプ) シリコンウエハ
  • 低チッピング
  • 低チッピング
  • 薄ウエハmilan米兰体育官网
  • メタル付ウエハmilan米兰体育官网
  • UC3044M-110E
  • UC3044M-110B
  • UC3139M-85
  • UC-334EP-85
UCシリーズ(UVタイプ) ガラス、樹脂フィルター
  • 低チッピング
  • ブレードダイシングmilan米兰体育官网
  • ステルスダイシングmilan米兰体育官网
  • 樹脂フィルターmilan米兰体育官网
  • UC3145M-160
  • UC3166M-115
  • UC3160M-95
  • 80
UCシリーズ(UVタイプ) 化合物
(セラミック、GaN、SiC、GaAs等)
  • 低チッピング
  • 低チッピング
  • 低チッピング
  • メタル付ウエハmilan米兰体育官网
  • 両面粘着タイプ
  • UC-120M-120
  • UC3166M-115
  • UC3160M-95
  • UC-334EP-85
  • 15
FCシリーズ(UVタイプ) モールド樹脂パッケージ
(BGA/QFN/ETC)
  • 小パッケージサイズmilan米兰体育官网
  • ヒゲ抑制
  • 帯電防止性能
  • FC2127M-165
  • FC-224M-170
  • FS-8304-170

仕様

シリコンウエハ用 UCシリーズ

milan米兰体育官网名 UC3044M-110E UC3044M-110B UC3139M-85 80
基材厚さ(µm) 100 100 80 80
粘着剤厚さ(µm) 10 10 5 5
10 ♯280-SUS UV前 5.1 2.5 4.9 1.5
UV後 0.3 0.2 0.5 0.3
Si ウエハ UV前 1.8 1.1 2.2 1.1
UV後 0.1 0.1 0.1 0.2
特長 低チッピング 低チッピング 薄ウエハmilan米兰体育官网 メタル付ウエハmilan米兰体育官网

80 上記データは代表値であり、保証値ではありません

適用範囲

(注) 上記データは代表値であり、保証値ではありません

ガラス、樹脂フィルター用 UCシリーズ

milan米兰体育官网名 UC3145M-160 UC3166M-115 UC3160M-95 UC3098M-110
基材厚さ(µm) 15 100 80 100
粘着剤厚さ(µm) 10 15 15 10
粘着力(N/25mm) ♯280-SUS UV前 9.8 8.3 1.9 5.8
UV後 0.3 0.3 0.3 0.4
Si ウエハ UV前 9.2 8.3 0.5 2.3
UV後 0.1 0.1 0.1 0.1
特長 低チッピング ブレードダイシング
milan米兰体育官网
ステルスダイシング
milan米兰体育官网
樹脂フィルターmilan米兰体育官网

(注) 上記データは代表値であり、保証値ではありません

化合物(セラミック、GaN、Sic、GaAs等) UCシリーズ

milan米兰体育官网名 UC-120M-120 UC3166M-115 UC3160M-95 UC-334EP-85 UC-228W-110
基材厚さ(µm) 100 100 80 80 70
粘着剤厚さ(µm) 20 15 15 5 20+20
粘着力(N/25mm) ♯280-SUS UV前 12.6 8.3 1.9 1.5 10.9
UV後 0.2 0.3 0.3 0.3 0.2
Si ウエハ UV前 7.5 8.3 0.5 1.1 3.1
UV後 0.1 0.1 0.1 0.2 0.1
特長 低チッピング 低チッピング 低チッピング メタル付
ウエハmilan米兰体育官网
両面粘着タイプ

(注) 上記データは代表値であり、保証値ではありません

モールド樹脂パッケージ用(BGA/QFN/ETC) FCシリーズ

milan米兰体育官网名 FC2127M-165 FC-224M-170 FS-8304-170
基材厚さ(µm) 150 150 150
粘着剤厚さ(µm) 15 20 20
粘着力
(N/25mm)
♯280-SUS UV前 8.3 6.1 4.9
UV後 0.7 0.4 0.5
Si ウエハ UV前 8.9 5.2 5.5
UV後 0.5 0.3 0.3
特長 小パッケージサイズmilan米兰体育官网 ヒゲ抑制 帯電防止性能

(注) 上記データは代表値であり、保証値ではありません

適応工程

ウエハダイシング工程

PKGダイシング工程

ガラス加工、搬送工程

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